美国AALBORG公司AFC高精型质量流量控制器

1.不锈钢构造, 满量程流量范围10sccm到100slm

2.最大压力500psig(34.5bars)

3. 0~5vdc或4~20ma信号

4.集成漏率1＊10^-9sml/sec (he)

5.精确度±1%f.s

6.备选总量计数器

7.具电路保护功能

AF型质量流量控制器是为显示和控制气体流量而设计的。

技术参数：

1.精确度: ±1% 满量程度fs (线性范围:气体t=15~25℃,压力=0.7~4.1bas);±2%f.s (线性范围:气体t=5~50℃,压力=0.35~10.3bars)

2. 满量程流量范围10sccm到100slm, 重复性: ±0.2%f.s

3.时间常数:  AFM系列—300ms

             AFC2600 (qmax=15sl/min)—300ms

             AFC3600 (qmax=50sl/min)—600ms

             AFC4600 (qmax=100sl/min)—600ms

    4.响应时间: AFM系列在设置流速(25~100% f.s)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒           

    5.温度系数: ±0.1%f.s/℃

    6.压力系数: ±0.01%f.s/psi(0.07bars)

    7.最佳气体压力: 25 psig(1.73bars)

    8.最大的气体压力: 500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力

    9.气体和环境温度: 5℃~50℃

    10.漏率:最大漏率1＊10^-9sml/sec (he)

    11.流体接触材料: 316或416不绣钢, viton o型圈, 备选o型圈:neoprene或kalrez

    12.安装敏感性: 倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置

    13.输出信号:0~5v (2000ωmin,负载阻抗);4~20ma(0~500ω,线圈电阻)线性的直流电信号。最大的峰值噪音20mv

    14.连接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.

备选 1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR fittings.

    15.传感器输入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% vdc, 80 ma max,1.2w; ±15 ± 5% vdc, 200 ma max, 3w;

          AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% vdc, 220 ma max, 3.3w; ±15 ±5% vdc, 600 ma max, 9w.

     16.电路保护：电路具极性方向保护，可更换的保险丝提供电源输入保护。