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深圳市利方达科技有限公司

Shenzhen Leyfond

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产品介绍

AALBORG公司GFC经济型质量流量控制器

发布厂商：美国AALBORG公司

详细参数

美国AALBORG公司GFC经济型质量流量控制器

产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器

典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺

1.不锈钢构造, 满量程流量范围10sccm到1000slm

2. 最佳工作压力25psig(1.73bars), 最大入口压力500psig(34.5bars)

3. 0~5vdc或4~20ma信号

4.集成漏率1＊10^-7sml/sec (he)

5.精确度±1.5%f.s

6. 管路连接:1/4″1/8″3/8″1/2″3/4″Swagelok(可选VCR)

7. 电源12Vdc/24Vdc

8. 响应时间:到达设定点2％所需时间＜2秒

9. 重复性: 满量程±0.5%范围内

10. 温度范围5-50℃(41-122℉)

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