美国AALBORG公司 质量流量计
Aalborg Instruments & Controls, Inc是世界上著名的气体质量流量计的生产厂家，其产品广泛用于半导体、平板显示、数据存储、真空镀膜、太阳能电池、 材料科学 、石油化工、环保等领域。
产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺
产品型号及技术参数：
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型号
技术参数
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AFC型（高精型）
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GFC（经济型）
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DFC（数字式高精型）
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管道材料
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316不锈钢或416不锈钢
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316不锈钢，416不锈钢或铝
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316不锈钢，416不锈钢
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满量程流量范围
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10sccm到100slm
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10sccm 到1000slm
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10sccm到100slm
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密封
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橡胶（可选Viton、Buna、EPR、Kalrez）
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控制阀类型
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常开或常闭电磁阀控制
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管路连接
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1/4″1/8″3/8″Swagelok（可选VCR)
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1/4″1/8″3/8″1/2″3/4″Swagelok(可选VCR)
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1/4″1/8″3/8″Swagelok（可选VCR)
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电器连接
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15-Pin D
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15-Pin D
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25-Pin D
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电源
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±15Vdc
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12Vdc/24Vdc
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±15Vdc
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输入/输出信号
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0-5Vdc或4-20mA
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数字界面
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无
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无
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RS232/RS485
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响应时间
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到达设定点2％所需时间＜1秒
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到达设定点2％所需时间＜2秒
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到达设定点2％所需时间0.6-1秒
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精度
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满量程±1%范围内
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满量程±1.5%范围内
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满量程±1%范围内
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重复性
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满量程±0.2%范围内
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满量程±0.5%范围内
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满量程±0.15%范围内
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漏率
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最大值1×10-9sml/sec
（氦气）
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最大值1×10-7sml/sec
（氦气）
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最大值1×10-9sml/sec
（氦气）
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最佳工作压力
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25psig(1.73bars)
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最大入口压力
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500psig（34.5bars）
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温度范围
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5-50℃(41-122℉)
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展会合作:
